扩散泵原理？

扩散泵原理？

扩散泵的工作原理，扩散泵是依靠真空泵内部的油沸腾向上蒸发，向上蒸发的泵油通过泵芯的反射（泵芯一般为三层结构，类似倒扣的碗），改变运动方向，向下运动。向下运动的同时会带走顶部的气体也跟着向下运动。

当气体到达底部以后，由前级泵通过扩散泵底部的排气口抽走，持续循环就起到了抽真空的效果。