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严伟(中科院光电所微电子装备研究室研究员)

严伟(中科院光电所微电子装备研究室研究员)

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严伟(中科院光电所微电子装备研究室研究员)

严伟,男,副研究员。在“中科院光电所微电子装备研究室”工作,从事光刻设备及相关关键单元技术研究。

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